Acad. Dan Dascălu, Dr. Raluca Muller Reinventarea unui domeniu - Institutul National de Microtehnologie în primele două decenii de activitate (1996-2016) Acad. Dan Dascălu, Dr. Raluca Muller Semicentenarul cercetării românești în micro-nanoelectronică și perspectiva de evoluție a domeniului Academia Română, 19 septembrie 2019

Preambul Micro-nanoelectronica domină tehnologia informației și a comunicațiilor, TIC (information and communication technology, ICT) stând la baza fabricației calculatoarelor (procesoare, memorii), a echipamentelor digitale de comunicații și de automatizare, fiind esențială pentru întreaga economie și ducând la apariția de numeroase produse noi. Tehnologia actuală integrează nu numai partea electronică, ci și traductorii care interacționează cu mediul înconjurător, realizând astfel sisteme într-o singură componentă (un micro-nanosistem). De aici microtehnologiile Etapa actuală este aceea a sistemelor ciber-fizice, tehnica digitală fiind cuplată direct la sistemele fizice (v. de exemplu internetul lucrurilor, Internet of Things, IoT). Alături de rețelele digitale, inteligența artificială și roboții inteligenți stau la baza celei de a 4-a revoluții industriale.

Cuprins Repere institutionale Obiectivele cercetarii Resursele umane Infrastructura experimentala Comunicare (evenimente, publicatii, networking) Concluzii

1 Repere instituționale CMT, IMT 1991: Apare Centrul de Microtehnologie (CMT), destinat să preia activitățile de fabricație structuri și de proiectare din S.C. Microelectronica S.A. (prescurtat ME). Director – prof. Dan Dascălu Pentru început (1992-1993) colaborare pe bază de contract CMT-ME 1993: CMT se transformă în Institutul de Microtehnologie (IMT) ME detașează în IMT personalul secției de fabricație structuri (linia tehnologică CMOS) și al atelierului de proiectare. Prin contract se asigură fabricația de structuri, în paralel cu activitățile de cercetare, de unde provin fondurile (din 1993 există și o tematică de microtehnologii în planul național de cercetare). 1994-1996: Tentative de extindere a activității Structuri de dispozitive MOS de putere sunt exportate (prin IPRS-Băneasa) în SUA, dar oferta de colaborare a unei firme olandeze nu poate fi valorificată. Eșuează încercarea de a prelua de la firma Sun (SUA) licența de proiectare de microcontrolere industriale bazate pe arhitectura microprocesorului SPARC. 1996: IMT fuzionează cu ICCE, formând INCD Microtehnologie (IMT București). Director general – acad. Dan Dascălu

1 Repere instituționale CMT, IMT

1 Repere instituționale IMT București 1996: În momentul fuziunii, IMT București avea 370 salariați (inclusiv personalul detașat din ME) 1997: Contractul cu ME este reziliat Detașarea personalului ME în IMT încetează, dar câțiva specialiști cheie din ME se angajează în institut IMT nu mai are acces pe linia tehnologică CMOS din ME 1998: IMT câștigă un prim proiect european de cercetare (MEMSWAVE) 2003: În IMT apare laboratorul Samsung (2003-2004) 2006: Începe o campanie de învestiții care a înnoit aproape complet infrastructura experimentală a institutului. 2011: Conducerea IMT București este preluată de Dr. Raluca Muller 2015: Este inaugurată investiția CENASIC (un nou centru de cercetare) 2017: Noul Director general al IMT București este Dr. fiz. Adrian Dinescu

Cuprins Repere institutionale Obiectivele cercetarii Resursele umane Infrastructura experimentala Comunicare (evenimente, publicatii, networking) Concluzii

2 Obiectivele cercetării IMT București De la ICCE la IMT. Ce s-a schimbat? S-a schimbat obiectul de activitate De la dispozitive electronice semiconductoare la componente neelectronice, de exemplu senzori de diverse mărimi fizice, care trebuie transformate în semnal electric Important pentru integrarea într-o singură componentă a sistemelor inteligente S-au modificat tehnologiile Adaptarea unor procese din tehnologia semiconductorilor pentru realizarea de ex. de microsenzori – microtehnologii (tehnologii de microsistem, în UE) Posibilitatea de aplicare în alte domenii ale tehnicii, de ex. micromecanică sau microoptică Nu se mai parcurge ciclul până la produs Dispariția posibilității și chiar a necesității de a asigura microproductie Politica de cercetare-inovare la nivel național, cu finalitate ...........incertă.

2 Obiectivele cercetării IMT București Obiectul de activitate, conform HG 998/2006, ART. 4 (selectiv)     a) cercetare avansată în domeniul microsistemelor, cum ar fi: investigații experimentale, modelare și simulare, arhitecturi tip inteligență computațională, sisteme de inspirație biologică, sisteme biotehnice, nanotehnologie, inclusiv al materialelor, al tehnologiilor și al microstructurilor specifice;     c) cercetare aplicativă precompetitivă în domeniul microingineriei, cum ar fi: micromecanică, microoptică, microsisteme optoelectromecanice etc.;     d) dezvoltări tehnologice în domeniul microfabricației, cu aplicații în electronică, electrotehnică, optică, mecanică fină, tehnică spațială și nucleară, biotehnologii etc.;     f) realizare de modele experimentale, standuri de testare și omologare, echipamente experimentale de caracterizare și fabricație a produselor din domeniul de activitate, standuri demonstrative;      h) elaborare de strategii, studii de diagnoză și prognoză privind dezvoltarea științei și tehnologiei în domeniul propriu de activitate;     i) standardizare, metrologie și atestarea calității;

2 Obiectivele cercetării IMT București Structura Departamentului de cercetare (2010). Centrul european de cercetare de excelență „Micro și nanosisteme pentru radiofrecvență și fotonică” (MIMOMEMS)- Coordonator Dr. Fiz. Alexandru Müller L3- Laboratorul de Micro si Nanofotonică- Sef Lab.: Dr. ing. Dana Cristea Laboratoare experimentale gestionate de cercetătorii din laborator: Spectrometrie Raman, Microscopie de scanare în câmp optic apropiat L4- Laboratorul de Microstructuri, Dispozitive și Circuite de Microunde - Sef Lab. Dr. fiz. Alexandru Müller Laboratoare experimentale: Caracterizare pe placheta în domeniul microundelor și undelor milimetrice până la 110 GHz, Profilometrie în lumină albă

2 Obiectivele cercetării IMT București Evoluția preocupărilor în L3 și L4 existente și în ICCE. Microtehnologii de prelucrare și microstructuri sau microsisteme electro-mecanice (MEMS) sau opto-electro-mecanice (MOEMS). Exemplu - structură cu undă acustică de suprafață (Surface Acoustic Wave, SAW), cu frecvență de rezonanță în domeniul microundelor. Exemplu de evoluție laboratorul de microunde (Dr. fiz. Al. Muller) Înainte de decembrie 1989 - dezvoltare dispozitive de microunde (inclusiv microproductie) După 90 – specializare la IMEC (Belgia) Tematică de cercetare în microtehnologii a existat din 1993, a beneficiat și ICCE Coordonare proiect MEMSWAVE (1998-2001), circuite de microunde microprelucrate, nominalizat la Premiul Descartes (2002), a urmat (până în 2016) Seria de seminarii europene de cercetare MEMSWAVE (lucrări publicate în seria Micro- and nanoengineering, Editura Academiei Române). Laboratorul Samsung (2003-2004) – o problemă de imagine Participarea la alte proiecte europene din PC6, PC7, ENIAC, Horizon 2020 Centrul de excelență european MIMOMEMS (2008-2011), primul Ro în UE Prioritate europeană, recunoscută în SUA (Michigan Univ.).

2 Obiectivele cercetării IMT București Centrul de nanotehnologii (CNT-IMT), până în 2017 a funcționat sub egida Academiei Române L1-Laboratorul de Nanotehnologii (primul laborator de nanotehnologie din țară) Laboratoare experimentale: (i) Microarii, (ii) Microscop electrochimic cu baleiaj, (iii) Nanoparticule, (iv) Spectrometru electrochimic de impedanță, (v) Electrochimie, (vi) Spectroscopie de suprafaţă, (vii) Difractometrie de raze X L6- Laboratorul de Caracterizare Microfizică și Nanostructurare i) Structurare si caracterizare la scara nanometrica, (ii) Microscop de probă cu baleiaj, (iii) Microscop electronic cu baleiaj, (iv) Nanoindentare, (v) Nanolitografie L9- Laboratorul de Nanotehnologie Moleculară

2 Obiectivele cercetării IMT București Președintele Academiei Române, acad. Ionel Haiduc, vizitează Centrul de Nanotehnologii (CNT-IMT, care a funcționat sub egida Academiei Române în perioada 2002-2017. În imagine apare Dr. chim. Irina Kleps, care a condus primul laborator de nanotehnologie din țară.

Notă explicativă În această comunicare nu se prezintă alte centre / laboratoare CD din organigrama IMT București (www.imt.ro). Informații suplimentare au apărut într-o versiune anterioară (Dan Dascălu, Marius Bâzu, Jubileul cercetării românești în domeniul semiconductori / microelectronică. 50 de ani de la înființarea primei unități de cercetare în domeniu, CRIFST / DIT, Academia Română, 28 martie 2019), accesibilă pe Internet la adresa http://www.link2nano.ro/50micro/. Se poate consulta de asemenea volumul Școala românească de micro- și nanoelectronică (coordonator Dan Dascălu), apărut în Editura Academiei Române, în 2018, ca supliment la seria Civilizația românească.

5. Comunicare (evenimente, publicare, networking) IMT București Participarea IMT în Programul Cadru 7 (PC7) 1. MIMOMEMS-European Centre of Excellence in Microwave, Millimetre Wave and Optical Devices, based on Micro-Electro-Mechanical Systems for Advanced Communication Systems and Sensors (2008-2011) REGPOT, Project No. 202897 Contact: Dr. Alexandru Muller IMT-coordinator 2. SMARTPOWER-Smart integration of GaN & SiC high power electronics for industrial and RF applications (2011 – 2014); ICT, Collaborative Project, Project No. 288801; Coordinator: Thales SA - Thales Research & Technology (France) IMT role: partner - Dr. Alexandru Muller 3. NANOTEC-Nanostructured materials and RF-MEMS RFIC/MMIC technologies for highly adaptive and reliable RF systems (2011 – 2014); Coordinator: Thales Res. & Techn. (France) IMT role: partner - Dr. Alexandru Muller 4. PARCIVAL-Partner Network for a Clinically Validated Multi-Analyte Lab-on-a-Chip Platform (2011-2014); STREP, HEALTH, Collaborative Project, Project No. 278090; Coordinator: PathoFinder BV (The Netherlands); IMT role: partner - Dr. Carmen Moldovan

5. Comunicare (evenimente, publicare, networking) IMT București 5. NanoValid-Development of reference methods for hazard identification, risk assessment and LCA of engineered nanomaterials (2011-2015); NMP, Large-scale integrating Collaborative Project, Project No. 263147; Coordinator NordMiljö AB (NOMI) (Sweden); IMT role: partner - Dr. Mihaela Miu 6. MOLD NANONET-Enhancing the capacities of the ELIRI Research Institute in applied research to enable the integration of Moldova in the European Research Area on the basis of scientific excellence (2011-2014); INCO, Support Actions, Project No. 294953; IMT role: partner - Dr. Mircea Dragoman 7. NANOSUSTAIN-Development of sustainable solutions for nanotechnology-based products based on hazard characterization and LCA (2010-2013); NMP, Small or medium-scale focused research project, Project No. 247989; Coordinator: NordMiljö AB (NOMI) (Sweden); IMT role: partner - Prof. Dan Dascalu,

5. Comunicare (evenimente, publicare, networking) IMT București 8. EuroNanoBio-European scale infrastructure in NanoBiotechnology (2009-2010) NMP, Support Actions, Project No. 231654; Coordinator: CEA (France); IMT role: partner - Prof. Dan Dascalu 9. MEMS-4-MMIC-Enabling MEMS-MMIC technology for cost-effective multifunctional RF-system integration (2008-2011); ICT, Collaborative Project, Project No. 224101; Coordinator: IMST GmbH (Germany); IMT role: partner - Dr. Dan Neculoiu 10. CATHERINE-Carbon nAnotube Technology for High-speed nExt-geneRation nano-InterconNEcts (2008-2011); ICT, Collaborative Project, Project No. 216215; Coordinator: Consorzio Sapienza Innovazione (Italy); IMT role: partner - Dr. Adrian Dinescu 11. FlexPAET-Flexible Patterning of Complex Micro Structures using Adaptive Embossing Technology (2008-2010); NMP, Large-scale integrating Collaborative Project, Project No. 214018; Coordinator: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Fraunhofer Institut für Produktionstechnolgie (IPT) (Germany); IMT role: partner - Dr. Dana Cristea

Cuprins Repere institutionale Obiectivele cercetarii Resursele umane Infrastructura experimentala Comunicare (evenimente, publicatii, networking) Concluzii

3 Resurse umane IMT București Problema resurselor umane în IMT București (1) În momentul formării INCD – Microtehnologie (IMT București) avea circa 350 de salariați, unii detașați de al S.C. Microelectronica S.A. (ME). În scurt timp a fost reziliat contractul cu ME și majoritatea celor proveniți din fabrică au părăsit institutul. În ultimul deceniu – circa 100 despecialiști. Au părăsit curând IMT și inginerii care s-au angajat în firme de proiectare asistata de calculator (CAD) a circuitelor integrate. Mai târziu un număr de cercetători ajung la laboratorul de Microsenzori al Honeywell Romania. Alți specialiști au emigrat, dar au fost și tineri cu doctoratul în străinătate care s- au angajat în IMT (în jurul anului 2010). IMT a preluat și cățiva specialiști proveniți din S.C. Băneasa S.A., după ce aceasta și-a încetat activitatea. În perioada 1991-1993 s-au derulat două proiecte TEMPUS coordonate de către Centrul de Electronică Fizică din Politehnică (Prof. Dan Dascălu), care au oferit zeci de studii de specializare în cele mai importante centre de cercetare în tehnologii de microsistem din Europa. Unii dintre cei specializați au lucrat sau lucrează și în prezent la IMT București

3 Resurse umane IMT București Problema resurselor umane în IMT București (2) Specializarea prin doctorat După 1990 școala doctorală de la facultatea de Electronică din București a avut mai mulți conducători de doctorat și a oferit posibilitatea de specializare prin doctorat unui număr de cercetători care și-au realizat partea experimentală a tezei în IMT. Si-au obținut doctoratul și specialiști în fizică, chimie, chiar și în biologie. Există și circa 10 cercetători cu doctoratul obținut în străinătate. În perioada 2010-2013 IMT a coordonat (prin acad. Dan Dascălu) un proiect de studii postdoctorale pentru 35 de bursieri (circa jumătate din IMT). Domeniul micro- și nanotehnologii Profil multidisciplinar Specializare în proiecte de cercetare. Un număr de cercetători implicați în proiecte internaționale au beneficiat de scurte perioade de lucru în laboratoarele din străinătate Îmbunătățirea specializării cercetătorilor (lucrul în colective multidisciplinare, accesul la echipamente de fabricație, caracterizare etc, din alte laboratoare) are loc și în IMT.

Cuprins Repere institutionale Obiectivele cercetarii Resursele umane Infrastructura experimentala Comunicare (evenimente, publicatii, networking) Concluzii

4 Infrastructura experimentală CMT, IMT și IMT București IMT București – infrastructura experimentală (1) Accesul la baza experimentală a S.C. Microelectronica S.A. (ME) În intervalul 1993-1997 IMT a gestionat (prin intermediul personalului detașat de la ME) linia de fabricație CMOS și atelierul pe proiectare (CAD) al circuitelor integrate INCD – Microtehnologie a preluat de la ICCE infrastructura experimentală existentă în 1996 Dotarea era incompletă, parțial nefuncțională Această stare necorespunzătoare a infrastructurii experimentale a IMT București a persistat timp de aproximativ un deceniu. Singurele investiții făcute după fuziunea cu ICCE – încălzire și rețea informatică Participarea la proiectele de cercetare europene din PC 6 (2003-2006) Cercetătorii din IMT executau lucrările experimentale mai pretențioase în laboratoarele partenerilor europeni.

4 Infrastructura experimentală IMT București IMT București – infrastructura experimentală (2) Dotări semnificative în echipamente și recondiționarea zonelor de cameră albă – în perioada 2005 – 2009. Un număr de 8 proiecte de noi laboratoare au permis crearea unei zone speciale (camera gri) gestionate de cercetătorii din unele laboratoare în beneficiul întregului institut, v. secțiunea 2 (laboratoare experimentale) Unele echipamente au fost primele de tipul respectiv instalate în țară S-au facilitat colaborările între laboratoarele din institut S-au creat premizele pentru oferta de servicii în afara institutului (v. mai jos) A fost lansată infrastructura experimentală deschisă de micro-și nanofabricație IMT-MINAFAB (www.imt.ro/MINAFAB) A fost prima facilitate de acest tip din estul Europei A fost lansată la reprezentanța României la UE din Bruxelles (8 mai 2009), cu implicarea Comisiei Europene, a ICMPP Iași, a IMEC și a Infineon Technologies. Începând din 2011 a fosta acreditată ISO (proceduri de calitate)

4 Infrastructura experimentală IMT București IMT București – infrastructura experimentală (2 a) Microfabricație Heidelberg DWL 66fs - for MASK WRITING

4 Infrastructura experimentală IMT București IMT București – infrastructura experimentală (2 b). Nanofabricație Electron Beam Lithography (EBL)

4 Infrastructura experimentală IMT București IMT București – infrastructura experimentală (2 c) Cracterizare funcțională High frequency (Anritsu VNA 37397D)

4 Infrastructura experimentală IMT București IMT București – infrastructura experimentală (3) TGE-PLAT (Parteneriat în exploatarea Tehnologiilor Generice Esenţiale (TGE), utilizând o PLATformă de interacţiune cu întreprinderile competitive), un proiect finanțat din fonduri structurale (2016-2021) Pune la dispoziția firmelor tehnologii, nu servicii punctuale Finanțează dezvoltarea de noi microdispozitive cu aplicații în securitate ș.a. CENASIC, Centrul de nanotehnologie și materiale bazate pe carbon a fost un proiect de investiții finanțat din fonduri structurale (2010-2015) Proiectul a fost redactat de cercetători formați în străinătate Au fost depășite numeroase bariere administrative (Dir. gl. Raluca Muller) A fost realizată cea mai performantă cameră albă din România (Dir. tehn. Adrian Dinescu) Un colectiv de cercetători (Dr. Mircea Dragoman) a pregătit din timp demararea cercetărilor pe noile echipamente Centrul continuă să funcționeze cu cercetători din diverse laboratoare CD

4 Infrastructura experimentală IMT București Noua cameră albă din CENASIC Slide-urile următoare PECVD ALD RF sputtering Multiprocess

4 Infrastructura experimentală IMT București Etapa

4 Infrastructura experimentală IMT București Etapa

Cuprins Repere institutionale Obiectivele cercetarii Resursele umane Infrastructura experimentala Comunicare (evenimente, publicatii, networking) Concluzii

5. Comunicare (evenimente, publicații, networking) IMT București IMT București preia ștafeta .......... CAS continuă, v. www.imt.ro/CAS La a a 20-a ediție, în 1997, se reîntâlnesc Acad. Mihai Drăgănescu și Dr. ing. Constantin Bulucea (dreapta) La următoarele ediții s-au organizat numeroase evenimente satelit legate de participarea IMT București la proiectele de cercetare europene. În particular, concomitent cu ediția 2010 s-a organizat Automotive Workshop, împreună cu Infineon Technologies Romania. Articolele din CAS Proceedings apar și în IEEE Xplore Digital Library

5. Comunicare (evenimente, publicații, networking) IMT București

5. Comunicare (evenimente, publicare, networking) IMT București ESSCIRC, ESSDERC 2013. Beneficiind de experiența CAS, IMT București a jucat un rol esențial în organizarea (pentru prima oară în estul Europei, după circa patru decenii) dubla manifestare IEEE European Solid State Circuit Research Conference (ESSCIRC) – European Solid State Device Research Conference (septembrie 2013). Cea de a 24 ediție a Micromachine Summit a avut loc la Buenos Aires, Argentina, între 14 și 16 mai, 2018. A fost a 12-a ediție la care a participat și România, reprezentată prin IMT București. Este singura țară din estul Europei reprezentată la acest Summit de micro- și nanotehnologii (participare numai pe bază de invitație), ceea ce constituie o recunoaștere pe plan mondial a vizibilității IMT București. Am menționat deja organizarea pentru prima oară în România (1999), de către IMT București a workshopului MEMSWAVE (micro-sisteme electro- mecanice pentru microunde). După un periplu european, ultima ediție a avut loc la București, în 2016. Lucrările selectate au fost publicate în extenso în volume din seria Micro- and nanoengineering (Ed. Academiei Române).

5. Comunicare (evenimente, publicare, networking) IMT București Networking în micro și nanotehnologii Următoarele patru slide-uri ale acestei secțiuni reprezintă exemple de evenimente, publicații și activități de networking în micro- și nanotehnologii organizate de IMT la nivel național sau european. Următorul slide prezintă 3 proiecte europene suport derulate de IMT (2004-2008) la nivel național, regional și pan-european. Următoarele două slide-uri prezintă ediții ale Seminarului Național de Nanoștiință și Nanotehnologie (SNN) organizate de către Acad. Dan Dascălu, coordonator al Centrului de Nanotehnologii din IMT. Este vorba de ediția 2017, pur științifică (lucrări publicate în volum) și ediția 2014, de politică a domeniului. Ultimul slide ilustrează o primă acțiune de tip Summit de nanoelectronică în România, inițiată de către Dr.Andreas Wild, din postura de CEO al ENIAC JU (parteneriat european public-privat).

5. Comunicare (evenimente, publicare, networking) IMT București Networking with support projects financed by the European Commission (FP6) 1. ROMNET-ERA ROManian Inventory and NETworking for Integration in ERA (www.romnet.net). Identifying, screening and networking of research groups (national R&D institutes, university research centers, research units of the Romanian Academy) will be focused on some priorities of FP 6, catalyzing the participation to EU projects. Coordinator: Acad. Dan Dascalu   2. MINAEAST-NET "Micro and Nanotechnologies going EAST through NETworking" - (www.minaeast.net). Focused on networking in Eastern Europe (new member states and candidate countries). Information is disseminated through the web page and Bulletin of MNT Coordinator: Acad. Dan Dascalu (dan.dascalu@imt.ro) 3. MINOS-EURONET "MIcro-NanOSystems EUROpean NETwork pursuing the integration of NMS and ACC in ERA"- (www.minos-euro.net). Facilitating the participation of NMS and ACC organisations to EU programmes and other activities in the field of micro-nanosystems; Performing extensive networking at the pan-European scale in the field of micro-nanosystems. Coordinator: Acad. Dan Dascalu (dan.dascalu@imt.ro)

5. Comunicare (evenimente, publicare, networking) IMT București Afișul ediției 2017 a Seminarului Național de Nanoștiință și Nanotehnologie. Coperta volumului care publică în extenso comunicări prezentate la seminar în volumul 26 din seria Micro- and nanoengineering, Editura Academiei Române, serie accesibilă on-line la adresa www.link2nano.ro/acad/mne

5. Comunicare (evenimente, publicare, networking) IMT București Seminarul Naţional de Nanoştiinţă şi Nanotehnologie (ediţia a 13-a), (sub egida Academiei Romane) 15 mai 2014, Aula Academiei Romane Simpozionul: “De la excelenta la competitivitate: tehnologiile generice esentiale (TGE)” a fost organizat in cadrul celei de a 13-a editii a Seminarului National de nanostiinta si nanotehnologie, de către CNT-IMT, la acea dată afiliat Academiei Romane. Un Simpozion de politica CDI ce reafirmă importanța TGE pentru competivitatea economică şi viitorul nanotehnologiilor în România. Participare la nivel Președinte de Academie și Secretar de Stat pentru cercetare.

5. Comunicare (evenimente, publicare, networking) IMT București La “Ziua Portilor deschise”, 16 decembrie 2014, acad. Nicolae Zamfir (foto sus, mijloc) a vizitat IMT. A a avut loc microsimpozionul intitulat “Rolul infrastructurilor de cercetare in orientarea strategica spre inovare si competitivitate”, cu participarea IFIN-HH si INCD-FLPR care au prezentat infrastructurile ELI-NP si respectiv CETAL. IMT București a prezentat Centrul de micro-si nanofabricatie IMT-MINAFAB, care asigură servicii tehnologice si de cercetare. Dezbaterea a avut loc in contextul SNCDI 2014- 2020, cu accentul pus pe inovare si colaborarea cu industria.

5. Comunicare (evenimente, publicare, networking) IMT București București,20 aprilie 2010.Summit-ul NanoElRei (NanoElectronics in Romania: Research-education-industry), cu colaborarea Infineon Technologies România (Dr. Michael Neuhaeuser, director general). De la stanga la dreapta: Dr. Raluca Muller (director stiintific al IMT), Dr. Andrei Wild (Director executiv al ENIAC), Prof. Dr. Ing. Sorin Dimitriu (Presedintele CCIB), Prof. Dr. Ing. Adrian Curaj (Presedintele ANCS).

Cuprins Repere institutionale Obiectivele cercetarii Resursele umane Infrastructura experimentala Comunicare (evenimente, publicatii, networking) Concluzii

6. Concluzii IMT București După 1989. Lipsa oricărei strategii pe plan național și-a pus amprenta asupra evoluției ulterioare a cercetării, ca și a industriei de profil Colaborarea regională din care făcea parte ME nu s-a reeditat până astăzi ............ A existat o strategie în cazul CMT-IMT-ME? Da, dar una proastă .... De fapt soarta platformei Băneasa nu interesa pe nimeni! Orientarea spre nou (tematică nouă, colaborare europeană) au fost până la urmă hotărâtoare în dezvoltarea institutului. Esențială a fost și competența și dăruirea unui număr de specialiști. Este vorba atât de cei proveniti din ICCE/IMT (v. cazul Muller), dar și de specialiști veniți din exterior (cazul proiectului CENASIC).

6. Concluzii evoluția domeniului Care a fost utilitatea supraviețuirii și evoluției cercetării în domeniu? S-au menținut competențe într-un domeniu high-tech (important în special pentru anumite categorii de aplicații). Există exemple negative ..................... Aceste competențe s-au dezvoltat prin cooperare europeană și institutul de profil din România s-a făcut vizibil pe plan internațional într-un domeniu de mare interes Deși institutul nu a făcut microproducție și nici nu a avut parteneri industriali semnificativi, a menținut o expertiză inginerească prin colaborarea cu firme străine în consorții europene, mai recent și prin colaborarea intensă cu firmele inovative. IMT a jucat un rol în dezvoltarea în țară a domeniului de micro-nanotehnologii, cu finanțare din programe naționale, având impact și în cooperarea europeană. Notă. Unul dintre autori (acad. Dan Dascălu) își continuă activitatea de dezbatere și de promovare a domeniului în cadrul Comisiei de Știința și Tehnologia Microsistemelor (https://acad.ro/academia2002/acadrom/pag_comisii.htm) a Academiei Române, inclusiv a Forumului (v. https://www.link2nano.ro/acad/FRMNE/ ) Românii în micro- și nanoelectronică, precum și al Asociației pentru Tehnologii Generice și Industriale, ASTEGI (v. www.astegi.ro).

6. Concluzii evoluția domeniului Ce se va întâmpla mai departe cu cercetarea în acest domeniu? Are ea un sens în actualul context al dezvoltării nanoelectronicii pe plan mondial, cu necesitatea unor învestiții colosale în facilitățile de fabricație? Problema unei strategii naționale a domeniului a fost pusă cu ocazia Forumului Românii în micro- și nanoelectronică (Academia Română, 6-7 noiembrie 2018) . O a doua ediție planificată pentru 15-17 iunie 2020. Efortul pe plan național și eventualele investiții străine au sens dacă sunt focalizate spre acele subdomenii în care există competențe și perspective de aplicare industrială. Aici există cel puțin două puncte de interes Dezvoltarea extraordinară a internetului lucrurilor (IoT) și a roboților inteligenți în contextul celei de a 4-a revoluții industriale face ca domeniul microsenzori, microtraductori, microsisteme să fie mai interesant ca niciodată. Dezvoltarea de materiale, dispozitive și concepte alternative pentru actuala tehnologie nanoelectronică deschide interesul pentru noi domenii de cercetare (proiecte europene de cercetare avansată sunt în derulare la INCD-Microtehnologie și INCD-Fizica Materialelor).

Recunoașteri și mulțumiri Autorii sunt recunoscători d-nei Dr. Nona Millea care le-a deschis interesul pentru trecut prin solicitarea de redactare a unor capitole dintr-un volum dedicat industriei Componentelor Electronice (în curs de apariție), volum care face parte din seria Electronica românească. O istorie trăită, care urmează să apară în Editura AGIR sub coordonarea Domniei sale. În redactarea acestei comunicări au fost folosite și materiale redactate de Raluca Muller, respectiv Dan Dascălu (martie 2016) pentru volumul de mai sus, articole din Market Watch și volumul Școala românească de micro- și nanoelectronică (coord. acad. Dan Dascălu, v. coperta alăturată), apărut în Editura Academiei Române, în 2018.