Incinta de vid, process de depunere, DLC pe piese optice din Ge si Si

Prezentarea pe tema: "Incinta de vid, process de depunere, DLC pe piese optice din Ge si Si"— Transcriere de prezentare:

1

2 Incinta de vid, process de depunere, DLC pe piese optice din Ge si Si
Facilitati tratament in vid Depuneri chimice DLC in plasma - PECVD Incinta de vid, process de depunere, DLC pe piese optice din Ge si Si

3 Depuneri de durificare Cathodic-Arc
Depuneri de TiCN pe pistoane, depuneri TiAlN pe sensori putere laser, depuneri CrN+CrO pe valve

4 Echipament cercetare – sursa Kurt Lesker 2 inch 300Wt RF sputtering, depuneri de Cr, Ti, Au, Pt , BST, TiO2, ZnO pe senzori de gaz Echipament sputtering, catod sputtering 330x110mm, depuneri de Al pe piese auto

5 Echipament dotat cu surse sputtering
LEYBOLD PK-150, BALZERS AK-510, planar 330x110mm Sursa DC sputtering LEYBOLD SSV-3,5kW, process de depunere, depuneri de ITO

6 MAGNETRON – 6 catozi sputtering, 2 surse independente,
sursa RF pentru curatire, sistem de incalzire piese Pompa ionica, process de depunere Cu si inox pe folie Kapton (proiect CERN)

7 Depuneri INCONEL, Ni si Au pe senzori pentru osteoporoza
Echipamente cu tun cu fascicol de electroni, sursa rezistiva de evaporare, sursa curatire in plasma, sistem incalzire piese Depuneri INCONEL, Ni si Au pe senzori pentru osteoporoza

8 Depuneri optice - antireflex, oglinzi, filtre, beam splitter, reticule
Echipament optic – 2 tunuri cu fascicol de electron, sursa rezistiva, sistem curatire in pasma, sistem incalzire, control fizic si fotometric al depunerilor Depuneri optice - antireflex, oglinzi, filtre, beam splitter, reticule

9 Depuneri decorative si protective
Echipamente de depuneri cathodic-arc, sputtering si resistive Depuneri decorative si protective

10 Depuneri biocompatibele si antimicrobiene pe proteze, implanturi, instrumentar medical Depuneri fotocatalitice si antimicrobiene pe textile si lemn

11 Linie completa fotolitografica – rezolutie de pana la 1 micron
Facilitati fotolitografice Linie completa fotolitografica – rezolutie de pana la 1 micron Echipamente aliniere si expunere UV simplu-fata, dublu-fata si prin proximatie

12 Hote cu mediu controlat – procese de lipiri optice si control
Hote cu aspiratie – procese chimice Hote cu mediu controlat – procese de lipiri optice si control

13 Corodari in plasma RIE. Depuneri DC si RF sputtering de Cr, Pt, Au
Depuneri sputtering de Cr, Cu, Al, Mo, V, Nb, Ni, Ti, Ta

14 Executie suporti senzori de gaze

15 Excutie reticule, lentile Fresnel, elemente diffractive CGH si DOE, grafica metalica

16 Facilitati prelucrari optice
Masini CNC generare raze si polisari

17 Echipamente de debitat, rotungit, generare raze, polisari, centrat-debordat

18 Executie prisme, cuburi, lentile

19 Executie beam splittere, ferestre, oglinzi, lentile cilindrice

20

21

22

23